Copper target

Kobbermål er solide forstøvningskilder fremstillet af kobbermateriale med høj renhed. De bruges primært til forstøvning af belægning i fysiske dampaflejringsprocesser (PVD) og aflejrer højtydende kobberfilm på substratoverflader.

1. Ultra-High Purity: Kernematerialets renhed er strengt kontrolleret til 99,999% (5N) til 99,9999% (6N). Denne ekstreme renhed minimerer risikoen for, at urenheder indføres i filmen, hvilket sikrer, at de aflejrede film har fremragende elektrisk og termisk ledningsevne, duktilitet og stabilitet, der opfylder de strenge krav til high-end halvleder-, display- og præcisionsoptiske belægninger.
2. Tilpasselige dimensioner og vægt: Vi tilbyder tilpassede tjenester. Baseret på kammerspecifikationerne for kundens forstøvningsudstyr og specifikke proceskrav, kan vi specialfremstille kobbermål til den nødvendige maksimale størrelse og vægt, hvilket opnår optimal belægningseffektivitet og materialeudnyttelse.
3. Robust Packaging: Tredobbelt beskyttelse sikrer sikker transport:
Kernebeskyttelse: Målmaterialet er vakuumpakket i to lag for effektivt at isolere luftfugtighed, forhindre oxidation og forhindre overfladekontamination.
4. Polstringsbeskyttelse: Vakuumemballagen er fyldt med højtydende perlemorsskum (EPE) polstringsmateriale for at absorbere stød og vibrationer, hvilket forhindrer fysisk skade.
5. Yderkasseforstærkning: Det yderste lag er indesluttet i en robust trækasse, der giver stærk strukturel støtte og modstand mod ydre påvirkninger, hvilket sikrer sikker global transport.
6. Primary Application: Designet til sputtering belægningsprocesser såsom magnetron sputtering og ionstråle sputtering. I et højvakuummiljø bombarderer højenergipartikler målmaterialet og sputterer kobberatomer fra måloverfladen. Disse atomer aflejres derefter på substrater (såsom siliciumwafers, glas og polymerfilm) og danner en ensartet, tæt og meget klæbende funktionel kobberfilm.